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研磨盤、研磨液和拋光布是實現研磨過程的三大利器


發布時間:

2021-10-25

研磨拋光機用于拋光金屬、玻璃和玉石制品。研磨過程中涉及的產品或輔助配件主要包括研磨盤、研磨液和拋光布。研磨拋光機的研磨盤主要是熔化各種金屬粉末后鑄造而成。這些金屬粉末具有一定的韌性和脆性,具有很強的磨削能力,能快速拋光各種工件表面。研磨盤材料有很多種,如鎢鋼...

  研磨拋光機用于拋光金屬、玻璃和玉石制品。研磨過程中涉及的產品或輔助配件主要包括研磨盤、研磨液和拋光布。

  1、研磨盤

  研磨拋光機的研磨盤主要是熔化各種金屬粉末后鑄造而成。這些金屬粉末具有一定的韌性和脆性,具有很強的磨削能力,能快速拋光各種工件表面。研磨盤材料有很多種,如鎢鋼、氧化鋁、氧化鈰、合成鐵或銅。可根據不同的使用條件或介質確定使用的具體材料。

  2、研磨液

  研磨盤不能單獨用于研磨介質,但必須與研磨液或拋光液一起使用。研磨液一方面可以降低加工過程中磨盤的工作溫度,另一方面可以起到潤滑作用,不會對加工零件造成損壞。研磨液一般有兩種類型:水劑和油劑。比較簡單的水劑研磨液可以是簡單的肥皂水,它可以由我們自己制造。這種研磨液生產成本很低,但沒有防銹能力,不適合磨削金屬制品。油劑研磨液是通過制備適當比例的有機溶劑制成的。這種溶劑比較明顯的缺點是生產成本高。

  3、拋光布

  使用拋光布不僅可以提高拋光盤的效率,而且可以保護拋光盤和拋光介質。但是拋光布有一定的使用壽命,不同規格的拋光布對工作溫度也有一定的要求。


研磨盤、研磨液和拋光布是實現研磨過程的三大利器


  研磨拋光機的合理使用離不開研磨盤、研磨液和拋光布三種基本輔助配件。它對拋光質量和拋光機的使用壽命有著非常重要的影響。

  研磨盤的操作使用:

  晶圓磨削過程的控制主要是控制研磨盤的轉速和施加的載荷。研磨過程中研磨壓力和時間之間的關系如下,先研磨壓力需要從較小的位置緩慢增加,以使磨料均勻分散并去除晶圓上的高點。穩定狀態下的磨削壓力,通常為9.8kpa(100gf/cm2)左右。研磨時間約為10~15min。研磨前,研磨壓力也需要緩慢降低。晶圓的研磨速率通常隨著以下參數的增加而增加:

  (1) 磨削壓力增大;

  (2) 漿液流速的增加;

  (3) 磨漿中磨粉的增加;

  (4) 提高磨盤轉速。

  研磨盤的研磨過程的完成主要基于定時或固定厚度(研磨量)。研磨盤固定厚度的方法是使用厚度探頭來檢測晶圓的厚度。一旦達到設定厚度,機器將緩慢降壓并停止研磨。

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